补短板,在路上
浦东新区集成电路产业规模于2019年超过1200亿元人民币,相比 2018 年增长 19%。就规模来说,浦东新区集成电路产业占上海该产业规模的71.5%、全国该产业规模的16.1%。
浦东已成为全国集成电路产业最集中、综合技术水平最高、产业链最为完整的地区,简单说——中国芯,于此集群。而这,仍还是“在路上”的一种状态。在今年9月28日的上海市政府新闻发布会上,浦东新区区委书记翁祖亮表示:“作为上海科创中心建设的核心承载区,浦东新区坚持统筹推进科学研究、技术创新和产业发展,加快构建现代化经济体系。”在此体系中,集成电路产业深受瞩目。
上海社会科学院日前发布的《2019年上海电子信息制造业国际竞争力报告》显示,2019年,中国集成电路、新型显示等电子信息行业完成固定资产投资比上一年增长16.8%。中国正全力补上集成电路产业短板。
浦东,正在肩负起中国集成电路产业补短板攻坚破难的重任,同时,也在迎来产业机遇。
从工序流程上追赶
1997年7月——当东方明珠广播电视塔刚刚投入使用两年,当金茂大厦即将结构封顶,当上海中心大厦还没影儿的时候,上海华虹NEC电子有限公司就成立了——中国除台湾地区以外第一条8英寸集成电路芯片生产线于此建立。这就是中国集成电路发展标志性的“909工程”主题项目。
肖胜安就是那时候从复旦大学光电子专业毕业,获得理学博士学位,随后加盟华虹的。当时,他作为华虹NEC第一批科技人员,被派往日本学习。九个月的培训期,说长不长,说短不短。这段日子,中国科技人员打开的是眼界,看到是差距。肖胜安认真学习了当年来说日本先进的半导体制造技术的关键、细节、内容和管理经验。回国后,肖胜安不满足在日本学得的技术,继续勤奋学习器件物理、产品特性及工艺集成等相关方面的知识,通过各种渠道了解和跟踪世界各个半导体厂家、光刻技术的发展前沿动态。逐渐地,他成功开发了当时国内唯一、国际领先的超级结关键技术,器件导通能耗降低75%;成功研发了高性能射频LDMOS工艺,使该类芯片产品性能达到国际先进水平;开发了国际上首个8英寸的沟槽栅MOSFET工艺,累计销售超过300万片8英寸硅片。此外,他担任国家级企业技术中心的主要负责人,先后完成0.25微米、0.18微米多个逻辑工艺平台开发和技术转移。
肖胜安个人在半导体领域不断地摸索进步,是浦东集成电路产业不断发展的缩影。2000年4月,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司在浦东成立;2002年12月,上海集成电路研发中心在浦东成立;2007年,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司12英寸生产线建成投产;2008年12月,中芯国际(上海)的90纳米CMOS工艺研发成功;2010年1月,“909工程”升级项目上海华力微电子有限公司成立……
2013年,同处浦东的中国第二大和第三大晶圆代工厂——上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司完成合并,“华虹宏力”正式诞生。
在国际竞争领域,华虹宏力的8英寸集成电路芯片制造,由于逐渐在工序流程上做到最优而极富竞争优势——与韩国三星并驾齐驱,占据了约30%的国际市场份额,不仅打破了跨国公司的垄断,甚至让许多原先的领先者被迫出局。
不嫌起步低的逆袭战
之后,浦东的芯片企业将目标瞄准了集成电路设计。
上海晶丰明源半导体有限公司创始人兼CEO胡黎强称,当公司有了自己的专利技术以后,想揽高端产品生意,可费了九牛二虎之力从德国进口了500片特殊工艺晶圆后,因为其他条件没成熟,说白了一时没客户,晶圆在公司一放就是5年。
“国外知名的芯片设计企业已经在跑道上跑了十几年,想在同一条跑道上赢它,要么是寄希望于别家遭到重创或者失败,而这种可能性极小。” 胡黎强说,“要么就是我们自己换脑筋。后来我们找到了应对办法——不断在新的领域找到新的跑道,然后快速奔跑。在LED的跑道,我们国内芯片厂商与全球同行厂商站在差不多的起跑线上,这给了我们国内芯片设计公司跟国际设计公司一决高下的机会。”
格科微电子创始人赵立新则称,公司从低端市场开始打逆袭战。“我们更强调我们公司的技术是真正有竞争力的,而且我们只竞争出货量最大的产品。”
下一代技术的研发稳步开展
2004年,被誉为“硅谷最有成就的华人之一”的尹志尧以60岁高龄回国到浦东创立中微,首先瞄准的就是离子刻蚀机的国产化。尽管尹志尧在美国曾参与几代等离子体刻蚀机的研发,拥有60多项技术专利,可即便如此,他也花了足足14年时光,才将中微的刻蚀机卖到国际市场。浦东的芯片产业,初创时期,确实如大海中一叶扁舟。而如今,“舰队”初具规模。当产业集聚初步形成后,浦东成为全球集成电路领域聚焦之地。
2019 年第三季度,中芯南方集成电路制造有限公司实现第一代 14 纳米鳍式场效应晶体管(FinFET)工艺量产。12纳米技术也已开始客户导入,下一代技术的研发正稳步推进。新生产线将助力未来5G、物联网、车用电子等新兴应用的发展。
紫光展锐发布 5G 通信技术平台“马卡鲁”及其首款 5G 基带芯片“春藤 510”;上海兆芯发布新一代 16 纳米 3.0吉赫兹产品,是国内首款主频达到 3.0吉赫兹的国产通用处理器。
浦东这座最先进、最智能化、最高效的“芯工厂”,提前一年完成了国家提出的重要发展目标。乐鑫科技、安集微电子、中微半导体 3 家集成电路企业首批在科创板上市,晶晨半导体、晶丰明源等企业登陆科创板;阿里巴巴上海研发中心在浦东启用,平头哥半导体有限公司首批入驻。
与此同时,上海集成电路设计产业园建设全面推进,深入实施“千亿百万”工程;作为国家重大集成电路项目,总投资 359 亿元的上海积塔半导体特色工艺生产线项目预计正式投产。2020年,浦东集成电路产业销售规模力争达到 1500 亿元。展望未来,到2025年,浦东集成电路全产业链销售规模将达到4000亿元,集成电路企业科创板上市数量实现倍增。随着《浦东新区促进重点优势产业高质量发展若干政策》正式公布,中国芯聚集浦东的未来,更值得期待!(撰稿 非虫)